Установка ЭМ-5086 двустороннего совмещения и экспонирования знаков совмещения, Минск
Описание товара
Установка предназначена для нанесения знаков совмещения на обратную сторону пластины, совмещенных со знаками совмещения, сформированными предварительно на её лицевую стороне.
Работа установки основана на проекционном переносе изображения знака совмещения на обратную сторону пластины. Знаки совмещения на нижней стороне пластины формируются точно напротив знаков совмещения на лицевую стороне пластины.
Установка применяется в фотолитографических процессах при изготовлении полупроводниковых, гибридных, оптических, оптоэлектронных, МЭМС, МОЭМС и других приборов.
Применение этой установки позволяет использовать оборудование для односторонней контактной или проекционной фотолитографии для двустороннего технологического процесса вместо использования установок для двусторонней фотолитографии.
Технические характеристики установки
Разрешение проекционной системы, мкм4
Случайная составляющая погрешности совмещения знаков на двух сторонах подложки, нм0,3
Размер рабочего поля проекционной системы (диаметр), мм3
Размер рабочего поля, мм2,2 х1,7
Диаметр подложек, мм76,100,150
Толщина подложки, мм0,2...12,0
Толщина фоторезиста, мм1±0,1
Дискрет точных линейных перемещений, мкм не более0,1
Максимальный размер подложек , мм200
Напряжение сети электропитания, В230
Частота сети электропитания, Гц50...60
Потребляемая мощность, не более, кВт0,3
Габариты установки (ОМУ), мм400х680х850
Масса установки, не более, кг250
Площадь, необходимая для размещения установки, м²2
Товары, похожие на Установка ЭМ-5086 двустороннего совмещения и экспонирования знаков совмещения
Заявленная компанией КБТЭМ-ОМО, НП РУП цена товара «Установка ЭМ-5086 двустороннего совмещения и экспонирования знаков совмещения» может не быть окончательной ценой продажи. Для получения подробной информации о наличии и стоимости указанных товаров и услуг, пожалуйста, свяжитесь с представителями компании КБТЭМ-ОМО, НП РУП по указанным телефону или адресу электронной почты.