Установка ЭМ-5026АМ совмещения и экспонирования, Минск
Цена: Цену уточняйте
за 1 ед.
- Минимальный заказ - 1 ед.;
- Дата добавления 15.06.2017;
- Уникальный код - 18358549;
- Количество просмотров - 204;
Описание товара
Установка ЭМ-5026АМ предназначена для совмещения изображений на фотошаблоне и полупроводниковой пластине и переноса изображения с фотошаблона на пластину контактным (в зазоре) экспонированием фоторезистивного слоя пластины.
Установка ЭМ-5026АМ имеет автоматические системы:
загрузки полупроводниковых пластин из кассеты,
центрирования и ориентации по базовому срезу,
предварительной точной ориентации загрузки пластины на рабочий столик,
компенсации клина и разнотолщинности пластин и выхода на заданный оператором зазор совмещения,
экспонирования фоторезистивного слоя на пластине и выгрузки в другую кассету.
Технические характеристики установки
225-260, 280-335*, 350-450*
Фотолитографическое разрешение, мкм
0,4...0,7
Неравномерность освещенности рабочего поля диаметром 110мм, %
2,5
Случайная составляющая погрешности совмещения, мкм
±0,1
Диаметр обрабатываемых пластин, мм
50*, 60*, 76, 100*
Размер фотошаблонов, мм
102 х102, 127х127*
Чувствительность привода манипулятора совмещения
по X, Y, мкм
по углу, секунд
0,01
0,1
Напряжение/частота сети электропитания, В/Гц
230/50...60
Потребляемая мощность, не более, кВт
800
Характеристики установки ЭМ-5026АМ совмещения и экспонирования
- — Страна производитель: Беларусь
Товары, похожие на Установка ЭМ-5026АМ совмещения и экспонирования
Обращаем ваше внимание на то, что торговая площадка BizOrg.su носит исключительно информационный характер и ни при каких условиях не является публичной офертой.
Заявленная компанией КБТЭМ-ОМО, ОАО цена товара «Установка ЭМ-5026АМ совмещения и экспонирования» может не быть окончательной ценой продажи. Для получения подробной информации о наличии и стоимости указанных товаров и услуг, пожалуйста, свяжитесь с представителями компании КБТЭМ-ОМО, ОАО по указанным телефону или адресу электронной почты.
Заявленная компанией КБТЭМ-ОМО, ОАО цена товара «Установка ЭМ-5026АМ совмещения и экспонирования» может не быть окончательной ценой продажи. Для получения подробной информации о наличии и стоимости указанных товаров и услуг, пожалуйста, свяжитесь с представителями компании КБТЭМ-ОМО, ОАО по указанным телефону или адресу электронной почты.