Установка ЭМ-5026АМ совмещения и экспонирования, Минск
Описание товара
Установка ЭМ-5026АМ предназначена для совмещения изображений на фотошаблоне и полупроводниковой пластине и переноса изображения с фотошаблона на пластину контактным (в зазоре) экспонированием фоторезистивного слоя пластины.
Установка ЭМ-5026АМ имеет автоматические системы:
загрузки полупроводниковых пластин из кассеты,
центрирования и ориентации по базовому срезу,
предварительной точной ориентации загрузки пластины на рабочий столик,
компенсации клина и разнотолщинности пластин и выхода на заданный оператором зазор совмещения,
экспонирования фоторезистивного слоя на пластине и выгрузки в другую кассету.
Технические характеристики установки
225-260, 280-335*, 350-450*
Фотолитографическое разрешение, мкм
0,4...0,7
Неравномерность освещенности рабочего поля диаметром 110мм, %
2,5
Случайная составляющая погрешности совмещения, мкм
±0,1
Диаметр обрабатываемых пластин, мм
50*, 60*, 76, 100*
Размер фотошаблонов, мм
102 х102, 127х127*
Чувствительность привода манипулятора совмещения
по X, Y, мкм
по углу, секунд
0,01
0,1
Напряжение/частота сети электропитания, В/Гц
230/50...60
Потребляемая мощность, не более, кВт
800
Товары, похожие на Установка ЭМ-5026АМ совмещения и экспонирования
Вы можете оформить заявку на «Установка ЭМ-5026АМ совмещения и экспонирования» в компании «КБТЭМ-ОМО, НП РУП» через торговую площадку BizOrg. На сегодня предложение находится в статусе "в наличии".
Плюсы «КБТЭМ-ОМО, НП РУП»
специальное предложение по сервису и цене для пользователей площадки BizOrg;
своевременное выполнение своих обязательств;
разнообразные способы оплаты.
Ждем Вашего звонка!
Часто задаваемые вопросы
- Как оформить заказ?Чтобы оформить заказ на «Установка ЭМ-5026АМ совмещения и экспонирования» свяжитесь с компанией «КБТЭМ-ОМО, НП РУП» по контактным данным, которые указаны в правом верхнем углу страницы. Обязательно укажите, что нашли компанию на площадке BizOrg.
- Где посмотреть более полную информацию о компании «КБТЭМ-ОМО, НП РУП»?Для получения подробных даных о компании перейдите в правом верхнем углу страницы по ссылке-названию компании. Далее перейдите на интересную Вам вкладку с описанием.
- Предложение описано с ошибками, номер телефона не отвечает и т.п.Если у вас возникли проблемы при работе с «КБТЭМ-ОМО, НП РУП» – сообщите идентификаторы компании (319917) и товара/услуги (6293683) в нашу службу технической поддержки.
Служебная информация
«Установка ЭМ-5026АМ совмещения и экспонирования» относится к категории: «Установки совмещения и экспонирования».
Предложение появилось на сайте 06.09.2013, дата последнего обновления - 14.11.2013.
За все время предложение было просмотрено 499 раз.