Установка ЭМ-5026Б двустороннего совмещения и экспонирования, Минск
Цена: Цену уточняйте
за 1 ед.
Компания КБТЭМ-ОМО, НП РУП (Минск) является зарегистрированным поставщиком на сайте BizOrg.su. Вы можете приобрести товар Установка ЭМ-5026Б двустороннего совмещения и экспонирования, расчеты производятся в ₽. Если у вас возникли проблемы при заказе товара, пожалуйста, сообщите об этом нам через форму обратной связи.
Описание товара
Установка ЭМ-5026Б выполняет контактным (в зазоре) способом экспонирование верхней стороны полупроводниковой пластины или подложки, совмещая изображение на фотошаблоне с изображением на обратной стороне пластины или подложки.
При этом дополнительно возможна оценка точности совмещения знаков и изображений (топологий) на двух сторонах пластины (подложки).
Техничесике характеристики установки
Диапазоны рабочих длин волн, нм225-260, 280-335*, 350-450*
Фотолитографическое разрешение, мкм
0,4...1,0
Производительность ( t эксп=5с, без учета t совм), пластин/ч
60
Неравномерность освещенности рабочего поля диаметром 110 мм, %
5
Случайная составляющая погрешности совмещения, мкм
при одностороннем
по знакам на оратной стороне
±0,2
±1,0
Диаметр обрабатываемых пластин, мм40*, 50*, 60*, 76*, 100
Размер фотошаблонов, мм
76х76*, 102х102*, 127х127
Чувствительность тонкого привода манипулятора совмещения
по X, Y, мкм
по углу, секунд
0,01
0,1
Напряжение/частота сети электропитания, В/Гц
230/50...60
Потребляемая мощность, не более, кВт
1
Масса установки, не более, кг
500
Площадь, рекомендуемая для размещения установки, м²
6...8
*Поставляется по специальному заказу.
Товары, похожие на Установка ЭМ-5026Б двустороннего совмещения и экспонирования
Обращаем ваше внимание на то, что торговая площадка BizOrg.su носит исключительно информационный характер и ни при каких условиях не является публичной офертой.
Заявленная компанией КБТЭМ-ОМО, НП РУП цена товара «Установка ЭМ-5026Б двустороннего совмещения и экспонирования» может не быть окончательной ценой продажи. Для получения подробной информации о наличии и стоимости указанных товаров и услуг, пожалуйста, свяжитесь с представителями компании КБТЭМ-ОМО, НП РУП по указанным телефону или адресу электронной почты.
Заявленная компанией КБТЭМ-ОМО, НП РУП цена товара «Установка ЭМ-5026Б двустороннего совмещения и экспонирования» может не быть окончательной ценой продажи. Для получения подробной информации о наличии и стоимости указанных товаров и услуг, пожалуйста, свяжитесь с представителями компании КБТЭМ-ОМО, НП РУП по указанным телефону или адресу электронной почты.