Установка ЭМ-5026Б двустороннего совмещения и экспонирования, Минск
Описание товара
Установка ЭМ-5026Б выполняет контактным (в зазоре) способом экспонирование верхней стороны полупроводниковой пластины или подложки, совмещая изображение на фотошаблоне с изображением на обратной стороне пластины или подложки.
При этом дополнительно возможна оценка точности совмещения знаков и изображений (топологий) на двух сторонах пластины (подложки).
Техничесике характеристики установки
Диапазоны рабочих длин волн, нм225-260, 280-335*, 350-450*
Фотолитографическое разрешение, мкм
0,4...1,0
Производительность ( t эксп=5с, без учета t совм), пластин/ч
60
Неравномерность освещенности рабочего поля диаметром 110 мм, %
5
Случайная составляющая погрешности совмещения, мкм
при одностороннем
по знакам на оратной стороне
±0,2
±1,0
Диаметр обрабатываемых пластин, мм40*, 50*, 60*, 76*, 100
Размер фотошаблонов, мм
76х76*, 102х102*, 127х127
Чувствительность тонкого привода манипулятора совмещения
по X, Y, мкм
по углу, секунд
0,01
0,1
Напряжение/частота сети электропитания, В/Гц
230/50...60
Потребляемая мощность, не более, кВт
1
Масса установки, не более, кг
500
Площадь, рекомендуемая для размещения установки, м²
6...8
*Поставляется по специальному заказу.
Товары, похожие на Установка ЭМ-5026Б двустороннего совмещения и экспонирования
Вы можете оформить заказ на «Установка ЭМ-5026Б двустороннего совмещения и экспонирования» в фирме «КБТЭМ-ОМО, НП РУП» через площадку BizOrg.Su. Сейчас предложение находится в статусе "в наличии".
Что может предложить «КБТЭМ-ОМО, НП РУП»
специальное предложение по сервису и стоимости для пользователей торговой площадки BizOrg.Su;
своевременное выполнение взятых на себя обязательств;
разнообразные варианты оплаты.
Оставьте заявку прямо сейчас!
Ответы на популярные вопросы
- Как оформить заявку?Чтобы оформить заявку на «Установка ЭМ-5026Б двустороннего совмещения и экспонирования» свяжитесь с организацией «КБТЭМ-ОМО, НП РУП» по контактным данным, которые указаны сверху справа. Обязательно укажите, что нашли фирму на торговой площадке BizOrg.Su.
- Где получить более подробную информацию о фирме «КБТЭМ-ОМО, НП РУП»?Для получения подробных даных о фирме перейдите сверху справа по ссылке с именем организации. После этого перейдите на нужную вкладку с описанием.
- Предложение указано с ошибками, телефон не отвечает и т.п.Если у вас обнаружились проблемы при сотрудничестве с «КБТЭМ-ОМО, НП РУП» – сообщите идентификаторы фирмы (319917) и товара/услуги (6293688) в нашу службу по работе с клиентами.
Служебная информация
«Установка ЭМ-5026Б двустороннего совмещения и экспонирования» и другие подобные предложения можно найти в категории: «Установки совмещения и экспонирования».
Предложение было создано 06.09.2013, дата последнего обновления - 14.11.2013.
С начала размещения предложение было просмотрено 206 раз.