Установка ЭМ-5084Б автоматическая совмещения и экспонирования, Минск
Описание товара
Установка предназначена для совмещения и помодульного экспонирования полупроводниковых пластин при производстве БИС, СБИС. В основе работы установки лежит способ последовательного переноса (мультипликации) уменьшенного изображения шаблона на предварительно сфокусированную и совмещенную с плоскостью изображения шаблона, полупроводниковую пластину, соориентированную по специальным знакам совмещения, нанесенным на ее рабочую поверхность.
Технические характеристики установки
Рабочая длина волны, нм404
Фотолитографическое разрешение, мкм0,8
Масштаб проекционного уменьшения1:5
Производительность, пластин, диаметром 150 мм, в час45
Размер максимального рабочего поля модуля, мм16 х16
Случайная составляющая погрешности совмещения, нм±100
Диаметр обрабатываемых пластин, мм100, 150, 200
Размер фотошаблонов, мм127 х127
Емкость библиотеки шаблонов, шт12
Напряжение сети электропитания, В230
Частота сети электропитания, Гц50...60
Потребляемая мощность, не более, кВт4
Масса установки, не более, кг2900
Площадь, необходимая для размещения установки, м²14
Товары, похожие на Установка ЭМ-5084Б автоматическая совмещения и экспонирования
Вы можете приобрести товар Установка ЭМ-5084Б автоматическая совмещения и экспонирования в организации КБТЭМ-ОМО, НП РУП через наш сайт. На данный момент товар находится в статусе "в наличии".
Предприятие КБТЭМ-ОМО, НП РУП является зарегистрированным поставщиком на сайте BizOrg.su.
Служебная информация:
На нашем портале для удобства, каждой компании присвоен уникальный идентификатор. КБТЭМ-ОМО, НП РУП имеет ID 319917. Установка ЭМ-5084Б автоматическая совмещения и экспонирования имеет идентификатор на сайте - 6293693. Если у вас появились сложности при взаимодействии с компанией КБТЭМ-ОМО, НП РУП – сообщите идентификаторы компании и товара/услуги в нашу службу поддержки пользователей.
Дата создания модели - 06/09/2013, дата последнего изменения - 14/11/2013. За это время товар был просмотрен 733 раза.