Установка ЭМ-5084Б автоматическая совмещения и экспонирования, Минск

Цена: Цену уточняйте
за 1 ед.

Описание товара

Установка предназначена для совмещения и помодульного экспонирования полупроводниковых пластин при производстве БИС, СБИС. В основе работы установки лежит способ последовательного переноса (мультипликации) уменьшенного изображения шаблона на предварительно сфокусированную и совмещенную с плоскостью изображения шаблона, полупроводниковую пластину, соориентированную по специальным знакам совмещения, нанесенным на ее рабочую поверхность.

Технические характеристики установки

Рабочая длина волны, нм

404

Фотолитографическое разрешение, мкм

0,8

Масштаб проекционного уменьшения

1:5

Производительность, пластин, диаметром 150 мм, в час

45

Размер максимального рабочего поля модуля, мм

16 х16

Случайная составляющая погрешности совмещения, нм

±100

Диаметр обрабатываемых пластин, мм

100, 150, 200

Размер фотошаблонов, мм

127 х127

Емкость библиотеки шаблонов, шт

12

Напряжение сети электропитания, В

230

Частота сети электропитания, Гц

50...60

Потребляемая мощность, не более, кВт

4

Масса установки, не более, кг

2900

Площадь, необходимая для размещения установки, м²

14


Вы можете приобрести товар Установка ЭМ-5084Б автоматическая совмещения и экспонирования в организации КБТЭМ-ОМО, НП РУП через наш сайт. На данный момент товар находится в статусе "в наличии".

Предприятие КБТЭМ-ОМО, НП РУП является зарегистрированным поставщиком на сайте BizOrg.su.

Служебная информация:

На нашем портале для удобства, каждой компании присвоен уникальный идентификатор. КБТЭМ-ОМО, НП РУП имеет ID 319917. Установка ЭМ-5084Б автоматическая совмещения и экспонирования имеет идентификатор на сайте - 6293693. Если у вас появились сложности при взаимодействии с компанией КБТЭМ-ОМО, НП РУП – сообщите идентификаторы компании и товара/услуги в нашу службу поддержки пользователей.

Дата создания модели - 06/09/2013, дата последнего изменения - 14/11/2013. За это время товар был просмотрен 733 раза.

Установка ЭМ-5084Б автоматическая совмещения и экспонирования