Фотоповторитель ЭМ-5062М, Минск
Описание товара
Установка ЭМ-5062М предназначена для изготовления металлизированных эталонных и рабочих фотошаблонов в производстве полупроводниковых приборов и интегральных микросхем.
Технические характеристики установки
Фотографическое разрешение на поле модуля 10х10 мм (на структурах линия-промежуток), мкм1
Производительность при времени экспонирования 0.5 с, количестве модулей 61, размере модуля 10х10 мм, на шаблонах 127х127 мм, фотошаблонов/ч
30
Рабочее поле перемещения каретки координатного стола, мм, не менее
150х150
Масштаб проекционного уменьшения объектива
1:10
Максимальный размер экспонируемого модуля на шаблоне, мм
10х10
Невоспроизводимость размера элемента на структурах линия-промежуток, при ширине линии 1,2 мкм, не более, нм
200
Размеры заготовок фотошаблонов, мм:
76х76; 102х102; 127х127; 153х153
Размеры промежуточных фотошаблонов, мм
102х102; 127х127
Потребляемая мощность, не более, кВт
1,8
Товары, похожие на Фотоповторитель ЭМ-5062М
Вы можете приобрести товар Фотоповторитель ЭМ-5062М в интернет-магазине КБТЭМ-ОМО, НП РУП через наш сайт. На данный момент товар находится в статусе "в наличии".
Организация КБТЭМ-ОМО, НП РУП является зарегистрированным поставщиком на сайте BizOrg.su.
Служебная информация:
На нашей торговой площадке для удобства, каждой компании присвоен уникальный код. КБТЭМ-ОМО, НП РУП имеет ID 319917. Фотоповторитель ЭМ-5062М имеет код на сайте - 6291160. Если у вас обнаружились сложности при сотрудничестве с компанией КБТЭМ-ОМО, НП РУП – сообщите идентификаторы компании и товара/услуги в нашу службу по работе с клиентами.
Дата создания модели - 06/09/2013, дата последнего изменения - 14/11/2013. С начала размещения товар был просмотрен 626 раз.