Генератор сканирующий лазерный ЭМ-5389, Минск
Описание товара
Генераторы изображений относятся к самому сложному оборудованию в производстве фотошаблонов. Изготовление такого оборудования может быть выполнено только с помощью самых современных технологий.
УП КБТЭМ-ОМО имеет большой опыт в разработке такого оборудования. Здесь представлен модельный ряд многоканальных лазерных генераторов изображений для микроэлектроники, построенных по принципу растрового сканирования.
ЭМ-5389 предназначен для изготовления металлизированных фотошаблонов при производстве БИС, СБИС и других изделий электронной техники.
ЭМ-5389 позволяет формировать рисунок топологии на подложках совмещенный с предыдущими слоями.
Изображение формируется по принципу растрового сканирования с использованием 32-канальной архитектуры. В системе экспонирования применяется непрерывный ультрафиолетовый аргоновый лазер с длиной волны 257,2 нм. Мощность лазера 1000мВт. Модель Innova Sabre MotoFred фирмы Coherent.
Технические характеристики установки
200
Время экспонирования области 100х100мм, мин
60
Размер поля экспонирования, мм
215х215
Совмещаемость комплекта шаблонов, нм
50
Неровность края элементов топологии, нм
20
Дискретность адресной сетки, нм
1,25
Потребляемая мощность, не более, кВт
25
Товары, похожие на Генератор сканирующий лазерный ЭМ-5389
Заявленная компанией КБТЭМ-ОМО, НП РУП цена товара «Генератор сканирующий лазерный ЭМ-5389» может не быть окончательной ценой продажи. Для получения подробной информации о наличии и стоимости указанных товаров и услуг, пожалуйста, свяжитесь с представителями компании КБТЭМ-ОМО, НП РУП по указанным телефону или адресу электронной почты.