Установка ЭМ-5026М1 совмещения и экспонирования, Минск
Цена: Цену уточняйте
за 1 ед.
Компания КБТЭМ-ОМО, НП РУП (Минск) является зарегистрированным поставщиком на сайте BizOrg.su. Вы можете приобрести товар Установка ЭМ-5026М1 совмещения и экспонирования, расчеты производятся в ₽. Если у вас возникли проблемы при заказе товара, пожалуйста, сообщите об этом нам через форму обратной связи.
Описание товара
Установка ЭМ-5026М1 предназначена для совмещения изображений на фотошаблоне и полупроводниковой пластине (подложке) и переноса изображения с фотошаблона на пластину контактным (в зазоре) экспонированием фоторезистивного слоя пластины (подложки).
Установка ЭМ-5026М1 имеет автоматические системы:
- компенсации клина и разнотолщинности пластин без контакта с фотошаблоном,
- выхода на заданный оператором зазор совмещения,
- экспонирования фоторезиста на пластине,
- перехода в режим энергосбережения.
Загрузка - выгрузка полупроводниковых пластин (подложек) на рабочий столик осуществляется оператором вручную.
Технические характеристики установки
225-260, 280-335*, 350-450*
Фотолитографическое разрешение, мкм
0,4...0,6
Неравномерность освещенности рабочего поля диаметром 76 мм, %
±2
Случайная составляющая погрешности совмещения, мкм±0,1
Диаметр обрабатываемых пластин, мм
76 (16,20,25,30,40, 50,60)*
Размер фотошаблонов, мм
76 х76*, 102 х102
Чувствительность привода манипулятора совмещения
по X, Y, мкм
по углу, секунд
0,01
0,1
Потребляемая мощность, не более, кВт
800
Товары, похожие на Установка ЭМ-5026М1 совмещения и экспонирования
Обращаем ваше внимание на то, что торговая площадка BizOrg.su носит исключительно информационный характер и ни при каких условиях не является публичной офертой.
Заявленная компанией КБТЭМ-ОМО, НП РУП цена товара «Установка ЭМ-5026М1 совмещения и экспонирования» может не быть окончательной ценой продажи. Для получения подробной информации о наличии и стоимости указанных товаров и услуг, пожалуйста, свяжитесь с представителями компании КБТЭМ-ОМО, НП РУП по указанным телефону или адресу электронной почты.
Заявленная компанией КБТЭМ-ОМО, НП РУП цена товара «Установка ЭМ-5026М1 совмещения и экспонирования» может не быть окончательной ценой продажи. Для получения подробной информации о наличии и стоимости указанных товаров и услуг, пожалуйста, свяжитесь с представителями компании КБТЭМ-ОМО, НП РУП по указанным телефону или адресу электронной почты.