Установка ЭМ-6329Р автоматического контроля топологии фотошаблонов, Минск

Установка ЭМ-6329Р предназначена для автоматического контроля первичных и рабочих фотошаблонов, имеющих как прозрачные, так и непрозрачные дефекты: островки, проколы, выступы, вырывы, перемычки между элементами, разрывы элементов, скругления углов, уходы размеров, полутоновые дефекты и т. д.

Автоматический контроль дефектов осуществляется методом сравнения изображения, полученного с фотошаблона в проходящем свете c эталонном изображения, генерируемого из топологии. После завершения автоматического контроля дефекты предъявляются оператору на экране дисплея.

Технические характеристики установки

Минимальный размер обнаруживаемых дефектов, мкм
0,25
Время контроля области 100х100мм, мин
25
Время контроля области 100х100мм с удвоенным пикселом (1,0мкм), мин
7
Размер рабочего поля, мм
153х153
Дискретность перемещения координатного стола, нм
5
Коэффициент увеличения визуального канала, крат
150, 600, 2000
Диапазон коррекции размеров элементов эталонного изображения, нм
50...250
Диапазон программной фильтрации дефектов, мкм
0,25...2,5
Максимальная высота рамки пеликла (с каждой стороны шаблона), мм
8
Форматы проектных данных
ZBA,GDS,DXF, ЭМ-5x09, ЭМ-5х89
Потребляемая мощность, не более, кВт
1,8

Характеристики установки ЭМ-6329Р автоматического контроля топологии фотошаблонов

• — Страна производитель: Беларусь