Установка вакуумная универсальная Elato, Минск

Устройство вакуумной установки Elato

Вакуумное напылительное оборудование Elato выполнено в виде моноблока. Вакуумная установка состоит из поста вакуумного, установленного на металлическом каркасе, и шкафа электротехнического.

Вакуумный пост в свою очередь состоит из камеры вакуумной технологической с установленной в ней оснасткой внутрикамерной, камеры шлюзовой с установленной на ней системой вращения подложек. Камеры разделены затвором высоковакуумным. В камере вакуумной технологической происходит подготовка подложек к нанесению покрытия и последующее напыление в соответствии с технологическим маршрутом. Камера шлюзовая с системой вращения подложек служат для возможности смены образцов без развакуумирования камеры вакуумной технологической. В шкафу электротехническом размещены блоки управления и питания.

Для высоковакуумной откачки камер применяется турбомолекулярне насосы. Для предварительной откачки камер и обеспечения поддержки турбомолекулярных насосов используется «сухой» механический насос. Откачка вакуумной камер на рабочий вакуум происходит в автоматическом режиме.

Загрузка подложкодержателя с подложками в вакуумную камеру и их замена осуществляется оператором вручную при поднятой системе вращения подложек

Технические характеристики
№
Параметры, характеристики
Величина
1.
Объем камеры вакуумной технологической, м³
0,065
2.
Предельное остаточное давление в чистой камере без оснастки, не выше, Па
5 х10^-4
3.
Время достижения остаточного давления 5 10-⁴Па, не более, мин
30
4.
Температура прогрева шлюзовой камеры не менее, °С
400
5.
Точность поддержания температуры на подложке ,°С
± 10
6.
Диапазон регулировки расстояния от испарителя до образца, мм
250…350
7.
Неравномерность по толщине напыляемого слоя на подложку диаметром 76 мм(при регулировке расстояния от испарителя до образца) %;
±(1,5…5)
8.
Масса,не более, кг,
1200
9.
Габариты (ДхШхВ), не более ,мм
2350х2090х2400
10.
Потребляемая мощность, не более, кВт,
30

Характеристики установки вакуумной универсальной Elato

• — Страна производитель: Беларусь