Установка вакуумная для нанесения покрытий SE-300, Минск

Назначение:

• Нанесение герметизирующих слоев на основе Si₃N₄ и SiO₂;
• Нанесение прозрачных проводящих покрытий с улучшенными характеристиками.

Вакуумная установка "чистый сканер" для дисплейного применения.Установка SE-200 разработана для получения новых типов покрытий, применяемых в органических дисплеях. Данные вакуумные установки особенно эффективны для получения тонкопленочных герметизирующих покрытий на основе Si₃N₄, а также прозрачных проводящих покрытий с улучшенными характеристиками. Легкая интеграция вакуумных установок SE-300 в новые и существующие производственные линии OLED дисплеев обеспечена применением дополнительной шлюзовой замеры, имеющей индивидуальную высоковакуумную систему откачки и высоковакуумный робот-манипулятор.

Применение:

• OLED дисплеи.

Отличительные особенности:

• Ионно-лучевой источник распыления с четырехпозиционным узлом сменных мишеней обеспечивает широкие возможности по проведению как исследовательских работ, так и осуществлению производства тонкопленочных структур различного состава и сложности;
• Применение ионно-лучевых технологий компании Изовак для нанесения покрытий непосредственно на органические структуры без ухудшения их характеристик успешно подтверждено нашими заказчиками;
• Очень низкий уровень генерации частиц при нанесении покрытий достигается за счет особой конструкции механизма перемещения ионных источников, практически не имеющего пар трения;
• Интеграция в исследовательские или производственные OLED линии обеспечена, при необходимости, шлюзовой камерой с высоковакуумным роботом-загрузчиком;
• Размер обрабатываемых подложек 200x200 мм и 370x470мм;
• Нагрев подложек может устанавливаться по заказу;
• Конструкция вакуумной установки соответствует требованиям чистых помещений Class 1000.

Характеристики установки вакуумной для нанесения покрытий SE-300

• — Страна производитель: Беларусь