Установка вакуумная для нанесения многослойных оптических покрытий Ortus 1500, Минск
Цена: Цену уточняйте
за 1 ед.
Описание товара
Решение для нанесения оптических покрытий на подложки больших размеров. Оборудование позволяет наносить тонкопленочные покрытия на квадратные подложки со стороной до 420 мм. С оборудованием поставляется устройство загрузки, которое позволяет загружать и снимать тяжелые и крупногабаритные подложки.
Технические характеристики
Камера
1500 мм
Производительность / загрузка
3-6 подложек в смену
Откачные средства
ВТО оснащено пластинчато-роторным насосом для предварительной откачки и системой
высоковакуумной откачки на турбомолекулярных насосах.
Рабочий вакуум, Па
В зависимости от техпроцесса
Предельный вакуум,Па
2*10-4 Па
Контроль покрытий
Система контроля покрытий представлена системой оптического контроля и системой кварцевого контроля. Свидетели системы оптического контроля и кварцевые таблетки системы кварцевого контроля размещены в узле контроля, который предназначен для автоматической их смены.
Диапазон оптического контроля, нм:
одноволновой:
380-1100, 380-1700, 380-2600, 1200-5000,380-5000, 200-1100, 200-1700, 200-2600, 200-5000
Планетарного типа
Нагрев
ИК лампы (нижнее расположение)
Технологические устройства
Электронно-лучевой источник, резистивный испаритель (возможна опция), ионный источник очистки
Требования к ресурсам
Вода
Дистиллированная
Сжатый воздух
Осушенный, давление воздуха 6-8 кг/см2, качество кл 7 ГОСТ17433.
Электроэнергия
Напряжение - 380/220 В ±10%, частота - 50 Гц. ±2%
Аргон
Давление - 0,1±0,01 МПа, Качество - по ГОСТ 10157-79, чистота 99,99%, Расход - не более 0.2 л/мин
Кислород
Давление - 0,1±0,01 МПа, Качество - по ГОСТ 5583-78, чистота 99,7%, Расход - не более 0.2 л/мин
Занимаемая площадь
22 м2
Масса
5000 кг
Технические характеристики
Камера
1500 мм
Производительность / загрузка
3-6 подложек в смену
Откачные средства
ВТО оснащено пластинчато-роторным насосом для предварительной откачки и системой
высоковакуумной откачки на турбомолекулярных насосах.
Рабочий вакуум, Па
В зависимости от техпроцесса
Предельный вакуум,Па
2*10-4 Па
Контроль покрытий
Система контроля покрытий представлена системой оптического контроля и системой кварцевого контроля. Свидетели системы оптического контроля и кварцевые таблетки системы кварцевого контроля размещены в узле контроля, который предназначен для автоматической их смены.
Диапазон оптического контроля, нм:
одноволновой:
380-1100, 380-1700, 380-2600, 1200-5000,380-5000, 200-1100, 200-1700, 200-2600, 200-5000
спектральный:
380-740, 380-1100, 1000-1700, 200-1100, 380-1700
Планетарного типа
Нагрев
ИК лампы (нижнее расположение)
Технологические устройства
Электронно-лучевой источник, резистивный испаритель (возможна опция), ионный источник очистки
Требования к ресурсам
Вода
Дистиллированная
Сжатый воздух
Осушенный, давление воздуха 6-8 кг/см2, качество кл 7 ГОСТ17433.
Электроэнергия
Напряжение - 380/220 В ±10%, частота - 50 Гц. ±2%
Аргон
Давление - 0,1±0,01 МПа, Качество - по ГОСТ 10157-79, чистота 99,99%, Расход - не более 0.2 л/мин
Кислород
Давление - 0,1±0,01 МПа, Качество - по ГОСТ 5583-78, чистота 99,7%, Расход - не более 0.2 л/мин
Занимаемая площадь
22 м2
Масса
5000 кг
Характеристики установки вакуумной для нанесения многослойных оптических покрытий Ortus 1500
- — Страна производитель: Беларусь
Товары, похожие на Установка вакуумная для нанесения многослойных оптических покрытий Ortus 1500
Обращаем ваше внимание на то, что торговая площадка BizOrg.su носит исключительно информационный характер и ни при каких условиях не является публичной офертой.
Заявленная компанией Изовак, ООО цена товара «Установка вакуумная для нанесения многослойных оптических покрытий Ortus 1500» может не быть окончательной ценой продажи. Для получения подробной информации о наличии и стоимости указанных товаров и услуг, пожалуйста, свяжитесь с представителями компании Изовак, ООО по указанным телефону или адресу электронной почты.
Заявленная компанией Изовак, ООО цена товара «Установка вакуумная для нанесения многослойных оптических покрытий Ortus 1500» может не быть окончательной ценой продажи. Для получения подробной информации о наличии и стоимости указанных товаров и услуг, пожалуйста, свяжитесь с представителями компании Изовак, ООО по указанным телефону или адресу электронной почты.