Вакуумная установка для напыления периодического действия Elato 350, Минск

Вакуумное технологическое оборудование (ВТО) типа Elato (Элато) применяется для нанесения покрытий методом электронно-лучевого или термического испарения, магнетронного распыления с предварительной ионно-лучевой очисткой на различные типы подложек.

Вакуумная установка для напыления Elato представляет собой вакуумное оборудование периодического действия. Конструктивно установка состоит из каркаса, выполненного в едином блоке со стойкой питания и управления, и установленной в нем вакуумной камеры D-образной формы. Каркас рассчитан для монтажа ВТО в окно чистой комнаты.

Для высоковакуумной откачки камеры может применяется криогенный либо турбомолекулярный насос. Для предварительной откачки камеры используются «сухой» спиральный насос.

Загрузка подложек осуществляется оператором вручную. Возможна загрузка наличие шлюза для оперативного начала процесса напыления (опция).

Вакуумная установка выполнена в едином блоке, приспособленном для расположения в чистых производственных помещениях. Все лицевые двери установки имеет по контуру прилегания пустотелый магнитный уплотнитель, не допускающий перетекания воздуха с пылью в чистую комнату. Вакуумный пост имеет конструкцию позволяющую совершать легкий доступ к дну и потолку камеры. Каркас установки имеет колеса для перемещения установки внутри чистого помещения, и регулируемые опоры ножки для выравнивания установки в рабочем положении внутри чистого помещения. Дверь установлена на камере и закреплена с помощью 3-х звенных петель.

Вакуумные установки серии Elato могут иметь различные технологические устройства. Вакуумное оборудование может быть скомпоновано как для исследовательских, так и для мелкосерийных задач. Кроме того, вакуумные установки серии Elato идеально подходят для напыления драгоценных металлов.

Технологические устройства монтируются на фланце дна камеры. На верхнем фланце камеры располагается механизм вращения подложкодержателя. На нем установлены системы нагрева и кварцевого контроля. Внутренние поверхности камеры закрыты быстросъемными, профилактирующимися защитами. Камера имеет комплект внутрикамерных съемных листовых экранов для защиты от запыления. Электронно-лучевые источники имеют заслонки и защитный собирающий материал купол.

На стойке управления установлен ПК с сенсорной панелью управления, на которой отображается вся необходимая информация о состоянии вакуумной установки и параметрах технологического процесса. С помощью данной панели можно управлять вакумной установкой в ручном режиме.

На передней двери электрического шкафа размещаются два пульта управления электронно-лучевыми испарителями, монитор с сенсорным экраном, справа располагается токорозрядный электрод ЭЛИ.

Вакуумное оборудование может работать как в ручном, так и в автоматическом режимах. Технолог может создавать технологические рецепты в рамках характеристик применяемых технологических устройств, задавать последовательность их работы и заносить рецепты в память установки, а затем воспроизводить их. На любом этапе автоматической работы по выбранному рецепту оператор может остановить работу, откорректировать незавершенные шаги и воспроизвести их с момента остановки. Данные о выполнении рецептов протоколируются и могут быть в любое время извлечены для анализа.

Технические характеристики вакуумной установки Elato

Параметры, характеристики
Величина
1. Диаметр вакуумной камеры, мм
350
2. Предельное остаточное давление в чистой камере без оснастки, не выше, Па
1 х10^-4
3. Время достижения давления 8х10^-4 Па (без прогрева) в чистой камере с оснасткой с момента открытия затвора, не более, минут
15
4. Натекание в камеру в течение 10 часов, не более, л Па/с
1 х 10²
5. Контролируемый диапазон рабочего давления в камере при напуске технологического газа, Па
1 х 10^-2 - 4 х 10^-2
6. Контролируемый диапазон температуры прогрева рабочего объема камеры в зоне подколпачной арматуры,^оС
0-750
7. Мощность ЭЛИ, не более, кВт
10
8. Мощность источника ионного ассистирования, не более, кВт
1
9. Плавная регулировка скорости вращения карусели, об-мин
0-30
10. Неравномерность покрытий по толщине не более, %
+/-2
11. Масса, не более,кг,
1800
12. Потребляемая мощность, не более,кВт,
35

Характеристики вакуумной установки для напыления периодического действия Elato 350

• — Страна производитель: Беларусь