Вакуумная установка для напыления тонких пленок Elato 600, Минск

Применение:

Напыление тонких плёнок для научно-исследовательских и опытно-конструкторских разработок.

Мелкосерийное производство.

Особенности:

· Возможность использования различных технологических устройств и подложкодержателей

· Возможность встраивания в чистую комнату

· Наличие шлюза (опция)

Технические характеристики
Камера
600 мм
Откачные средства
ВТО оснащено безмасляным форвакуумным насосом для предварительной откачки и системой высоковакуумной откачки с использованием турбомолекулярных насосов.
Предельное остаточное давление в чистой камере без оснастки, не выше, Па
1 х10^-5
Контроль покрытий
Система кварцевого контроля предназначена для измерения физической толщины наносимых пленок во время распыления, автоматического управления и поддержания заданной скорости нанесения материала.

Система оптического контроля (опция)

Система контроля по времени (опция)

Подложкодержатель
Планетарного типа
Нагрев
ИК, ТЭН, максимальная температура нагрева подложек - 400 °С
Технологические устройства
Электронно-лучевой источник, резистивный испаритель,

Ионный источник (возможная опция), магнетрон (возможная опция)

Требования к ресурсам
Вода
Дистиллированная
Сжатый воздух
Осушенный, без масла, 6-8 бар
Электроэнергия
Напряжение - 380/220 В ±10%, частота - 50 Гц. ±2%
Аргон
Давление - 0,1±0,01 МПа, Качество - по ГОСТ 10157-79, чистота 99,99%, Расход - не более 0.2 л/мин
Кислород
Давление - 0,1±0,01 МПа, Качество - по ГОСТ 5583-78, чистота 99,7%, Расход - не более 0.2 л/мин
Занимаемая площадь
1573х2000х1996
Масса, кг
1200

Характеристики вакуумной установки для напыления тонких пленок Elato 600

• — Страна производитель: Беларусь