Фотоповторитель ЭМ-5062М, Минск
Описание товара
Установка ЭМ-5062М предназначена для изготовления металлизированных эталонных и рабочих фотошаблонов в производстве полупроводниковых приборов и интегральных микросхем.
Технические характеристики установки
Фотографическое разрешение на поле модуля 10х10 мм (на структурах линия-промежуток), мкм1
Производительность при времени экспонирования 0.5 с, количестве модулей 61, размере модуля 10х10 мм, на шаблонах 127х127 мм, фотошаблонов/ч
30
Рабочее поле перемещения каретки координатного стола, мм, не менее
150х150
Масштаб проекционного уменьшения объектива
1:10
Максимальный размер экспонируемого модуля на шаблоне, мм
10х10
Невоспроизводимость размера элемента на структурах линия-промежуток, при ширине линии 1,2 мкм, не более, нм
200
Размеры заготовок фотошаблонов, мм:
76х76; 102х102; 127х127; 153х153
Размеры промежуточных фотошаблонов, мм
102х102; 127х127
Потребляемая мощность, не более, кВт
1,8
Характеристики фотоповторителя ЭМ-5062М
- — Страна производитель: Беларусь
Товары, похожие на Фотоповторитель ЭМ-5062М
Обращаем ваше внимание на то, что торговая площадка BizOrg.su носит исключительно информационный характер и ни при каких условиях не является публичной офертой.
Заявленная компанией КБТЭМ-ОМО, ОАО цена товара «Фотоповторитель ЭМ-5062М» может не быть окончательной ценой продажи. Для получения подробной информации о наличии и стоимости указанных товаров и услуг, пожалуйста, свяжитесь с представителями компании КБТЭМ-ОМО, ОАО по указанным телефону или адресу электронной почты.
Заявленная компанией КБТЭМ-ОМО, ОАО цена товара «Фотоповторитель ЭМ-5062М» может не быть окончательной ценой продажи. Для получения подробной информации о наличии и стоимости указанных товаров и услуг, пожалуйста, свяжитесь с представителями компании КБТЭМ-ОМО, ОАО по указанным телефону или адресу электронной почты.