Установка ЭМ-6239-01 автоматизированного контроля микроразмеров, Минск

Установка предназначена для измерения критических размеров на фотошаблонах защищенных пелликлами с обеих сротон на рамке высотой до 6,5 мм. Размеры контролируемых фотошаблонов до 178х178 мм. Загрузка и съем фотошаблонов с помощью захвата при положении координатного стола в позиции загрузка-выгрузка.

Установка имеет следующие отличительные особенности:

• оптика высокого разрешения позволяет производить точные измерения элементов с размерами до 0,5 микрона и оценку размеров до 0,35 мкм в ультрафиолетовом диапазоне 365 нм (i-линия),


• обзорный канал с большим полем наблюдения, работающим в видимом свете обеспечивает удобство просмотра топологии,


• система автофокусировки,


• прецизионный предметный стол,


• полупроводниковые источники света для освещения.

Технические характеристики установки

Диапазон размеров контролируемых элементов для X и Y, мкм
0,5-35
Среднее квадратическое отклонение (СКО) при контроле размеро вэлементов, нм
2
Время, контроля размера одного элемента, не более, с
1
Рабочий отрезок объектива, мм

6,9

Максимальный размер поля зрения видеокамеры, мм
0,67х0,5
Максимальное увеличение, не менее, крат
9000
Диапазон перемещения координатного стола X и Y, мм
200
Скорость перемещения координатного стол, мм/с
50
Шаг перемещения координатного стола, не более, мкм
0,1
Условия эксплуатации в чистом помещении не хуже класса
5 ИСО
Потребляемая мощность, не более, Вт
800

Характеристики установки ЭМ-6239-01 автоматизированного контроля микроразмеров

• — Страна производитель: Беларусь