Система одноволнового контроля AKRA, Минск

Встраиваемые системы одноволнового контроля серии AKRA (АКРА) компании ЭссентОптикс предназначены для измерения характеристик оптических покрытий по спектрам пропускания и/или отражения в процессе нанесения тонкопленочных покрытий непосредственно в вакуумной установке. Основу системы составляет монохроматор M250 собственной разработки, электронная система управления дифракционными решетками и приводами, а также программное обеспечение AkraSoft для измерения оптических показателей и визуализации измерительного процесса на экране оператора.

Рабочие диапазоны измерений различны: 200-1100 нм, 200-1700 нм, 380-1100 нм, 380-1700 нм, 380-2600 нм, 1,5-5 мкм. Системы контроля поставляются с выбранным диапазоном в зависимости от требований Заказчика и решаемых оптических задач. Измерительный комплекс серии AKRA позволяет вести достоверный контроль роста слоя по любой одной выбранной длине волны установленного спектрального диапазона в процессе напыления, а также осуществлять сканирование всего спектрального диапазона по окончании каждого слоя, работая в режиме спектрофотометра. Дополнительно, в программу работы системы можно загружать расчетные кривые каждого слоя (из программ МультиСпектр, OptiLayer, Multilayer, TFCalc) для сопоставления расчетных и фактических значений и остановки процесса напыления по достижению требуемого значения.

Конструкция встраиваемых систем одноволнового оптического контроля серии AKRA не требует доработок в вакуумной установке, в комплект поставки входят все необходимые переходные фланцы и крепежные элементы, которые разрабатываются для большинства эксплуатируемых установок (ВУ, УВН, Leybold, Balzers и т. д.), а также для новых установок.

Результаты применения

Применение встраиваемых систем одновлонового контроля серии AKRA компании ЭссентОптикс обеспечивает повышение качественных показателей сложных многослойных оптических покрытий в самом широком диапазоне контроля. Одно из важных дополнительных достоинств системы AKRA - уменьшение объема ручного труда операторов вакуумных установок. Дополнительно для операторов, имеющих опыт эксплуатации стандартных систем оптического контроля на базе монохроматора (СФКТ, OMS 2000 и т. д.), переход и адаптация к новой системе будет простой и быстрой, т. к. в системе AKRA также применен монохроматор в качестве устройства выделения участков спектра.

Точное отображение на экране изменяемой величины пропускания или отражения в режиме реального времени, а также возможность сканировать весь спектр после напыления каждого слоя существенно повышает выход годных деталей и фактически сводит к минимуму необходимость в проведении тестовых процессов.

В результате применения систем AKRA благодаря достоверному контролю сокращается доля процессов с ошибками, снижаются затраты на разработку новых покрытий, возрастает повторяемость проведения технологических процессов.

Преимущества

Приборы серий AKRA являются недорогим, надежным и удобным инструментом при решении задач по получению высококачественных оптических покрытий. Предлагаемые системы обладают важными достоинствами и преимуществами:

Для Вашего предприятия:

• Продление срока службы имеющегося парка вакуумного напылительного оборудования, с расширением возможностей его применения.


• Существенное снижение материальных затрат и времени на отработку новых процессов и покрытий.


• Успешный опыт производства и промышленной эксплуатации систем, начиная с 2004 года.


• Быстрый ввод систем в эксплуатацию - все работы по монтажу, запуску, настройке и обучению занимают не более 1-2 дней.


• Быстрый срок производства и поставки - в большинстве случаев не более 100 дней.


• Гарантия 2 года с даты ввода в эксплуатацию. Полная сервисная поддержка, консультации, рекомендации, модернизация систем и расширение спектрального диапазона при дальнейшей эксплуатации.

Для Ваших технологов и операторов установок:

• Наблюдение за ростом покрытия в реальном масштабе времени.


• Повышенная точность и стабильность измерений за счет применения модуляции источника излучения.


• Коррекция покрытия в процессе напыления благодаря послойным наблюдениям.


• Сохранение данных о покрытии и процессе в архивных файлах для последующего анализа и повтора успешных процессов.


• Высокая воспроизводимость оптических характеристик.


• Минимум движущихся деталей в измерительных системах, высокая надежность конструкции.


• Удобный интерфейс, позволяющий получать оператору/технологу точную и необходимую информацию.

Для Ваших заказчиков:

• Возможность изготовления и получения покрытий самых сложных спектральных характеристик.


• Существенное снижение брака в покрытиях, более высокий коэффициент выхода годных процессов, высокая повторяемость процессов.

Технические характеристики систем измерения серии AKRA (на базе монохроматора M250)

Описание параметра
AKRA 0211
AKRA 0411
AKRA 0217
AKRA 0417
AKRA 0426
AKRA 1550
AKRA 0450
Спектральный диапазон, нм
200 - 1100
380 - 1100
200 - 1700
380 - 1700
380 - 2600
1200 - 5000
380 - 5000
Спектральное разрешение, нм *
Дифракционная решетка 150 штр/мм, щель 200 мкм
-
-
-
-
-
9,6 (3,0 - 5,0 мкм)
9,6 (3,7 - 5,0 мкм)
Спектральное разрешение, нм *
Дифракционная решетка 300 штр/мм, щель 200 мкм
-
-
4,8 (1050 - 1700 нм)
4,8 (1050 - 1700 нм)
4,8 (1050 - 2600 нм)
4,8 (1,5 - 3,0 мкм)
4,8; две решетки
Спектральное разрешение, нм *
Дифракционная решетка 600 штр/мм, щель 200 мкм
2,4
2,4
2,4 (200 - 1050 нм)
2,4 (380 - 1050 нм)
2,4 (380 - 1050 нм)
-
2,4 (0,38 - 1,0 мкм)
Воспроизводимость длины волны, нм
0,25
0,25
0,25
0,25
0,5
1,0
0,5 (0,38-1,0 мкм);
1,0 (1,0-5,0 мкм)
Точность установки длины волны, нм
0,5
0,5
0,5
0,5
1,0
2,0
1,0 (0,38-1,0 мкм);
2,0 (1,0-5,0 мкм)
Фотометрические функции
R%, T% **
R%, T% **
R%, T% **
R%, T% **
R%, T% **
T%
T%
Диапазон измерения: T%
0,01 - 120%
0,01 - 120%
0,01 - 120%
0,01 - 120%
0,01 - 120%
0,01 - 120%
0,01 - 120%
Источник света
Дейтериевая лампа / Галогенная лампа
Галогенная лампа
Дейтериевая лампа / Галогенная лампа
Галогенная лампа
Галогенная лампа
ИК-излучатель
Галогенная лампа / ИК-излучатель
Точность измерения
<0,01 х T ***
<0,01 х T ***
<0,01 х T ***
<0,01 х T ***
<0,01 х T ***
<0,01 х T ***
<0,01 х T ***
Воспроизводимость измерения
0,005 х Т ***
0,005 х Т ***
0,005 х Т ***
0,005 х Т ***
0,005 х Т ***
0,01 х T***
0,005 х Т (0,38-1,7 мкм);
0,01 х T (1,65-5,0 мкм)*
Стабильность базовой линии
0,01 х T/час
0,01 х T/час
0,01 х T/час
0,01 х T/час
0,01 х T/час
0,01 х T/час
0,01 х T/час
Уровень рассеянного света
0,005 х Тмакс
0,005 х Тмакс
0,005 х Тмакс
0,005 х Тмакс
0,005 х Тмакс
0,01 х Tмакс
0,005 х Tмакс (0,38-1,7 мкм);
0,01 х Tмакс (1,65-5,0 мкм)*
Приемник
ФЭУ, Si
Si
ФЭУ, Si, IGA
Si, IGA
Si, PbS
PbSe
Si, IGA, PbSe
Коммуникационный порт
RS-232
RS-232
RS-232
RS-232
RS-232
RS-232
RS-232
Время измерения: на одной длине волны
Полного диапазона
от 100 мс
60 - 150с
от 100 мс
20 - 30с
от 100 мс
60 - 150с
от 100 мс
60 - 150с
от 100 мс
60 - 150с
от 100 мс
60 - 150с
от 100 мс
150 - 300с
Потребляемая мощность, Вт
80
50
80
50
50
50
50
Питание
220 В, 50 Гц
220 В, 50 Гц
220 В, 50 Гц
220 В, 50 Гц
220 В, 50 Гц
220 В, 50 Гц
220 В, 50 Гц
Вес нетто, кг
20
16
20
17
17
16
17

* Указаны типичные варианты конфигурации дифракционной решетки и щели. Точный выбор зависит от требований к оптическим покрытиям, предъявляемых Заказчиком.
** Ручная перестановка осветителя
*** После 30 мин прогрева дейтериевой лампы и 10 мин прогрева галогенной лампы.
Прочие варианты конфигурации приборов всегда возможны по согласованию с Заказчиком.

Характеристики системы одноволнового контроля AKRA

• — Страна производитель: Беларусь