Система спектрального контроля IRIS, Минск

Встраиваемые системы спектрального (ширикополосного) оптического контроля серии IRIS (ИРИС) компании ЭссентОптикс являются в настоящее время самым современным решением для контроля процессов вакуумного нанесения оптических покрытий. Системы IRIS предназначены для контроля покрытий по спектрам пропускания или отражения, а также позволяют осуществлять послойную корректировку покрытия. Основу системы составляет высокоточный спектрометр EOS собственной разработки, электронная система управления, а также программное обеспечениедля измерения оптических показателей и визуализации измерительного процесса на экране оператора.

Рабочие диапазоны измерений различны (200-380 нм, 380-740 нм, 380-1100 нм, 200-1100 нм, 950-1700 нм, 380-1700 нм и т. д.), система контроля поставляется с выбранным диапазоном или их комбинацией в зависимости от требований. Измерительный комплекс IRIS позволяет вести достоверный спектральный контроль роста слоя по всему выбранному спектральному диапазону в процессе напыления, позволяя оператору наблюдать за изменением спектральной кривой напыляемого покрытия в каждый момент времени. Конструкция системы обеспечивает возможность измерения как на отражение, так и на пропускание. Дополнительно, в программу работы системы можно загружать расчетные оптические кривые каждого слоя из программы расчета основных и промежуточных спектров МультиСпектр. Это позволяет точно сопоставлять расчетные и фактические значения показателей на выбранных длинах волн, контролировать форму спектральной кривой и останавливать процесс напыления по достижении требуемого значения.

Конструкция встраиваемых систем спектрального оптического контроля серии IRIS не требует доработок в вакуумной установке, в комплект поставки входят все необходимые переходные фланцы, оптоволоконные кабели и крепежные элементы, которые разрабатываются для большинства эксплуатируемых установок (ВУ, УВН, Leybold, Balzers и т. д.), а также для новых установок.

Результат применения

Применение встраиваемых систем спектрального контроля серии IRIS компании ЭссентОптикс обеспечивает существенное улучшение качественных показателей получения сложных многослойных оптических покрытий, включая неравнотолщинные покрытия и покрытия с несколькими рабочими длинами волн (например, покрытия для лазерных оптических элементов), существенно повышает выход годных деталей и сокращает время на отработку сложных процессов и новых покрытий.

Отличное спектральное разрешение (до 0,8 нм) и высокое отношение сигнал-шум (до 5000:1) позволяет успешно получать наиболее чувствительные к ошибкам многослойные покрытия с неограниченным числом слоев.

В итоге, благодаря быстрому и достоверному контролю сокращается доля процессов с ошибками, снижаются затраты на разработку новых покрытий, многократно возрастает повторяемость проведения наиболее сложных и ответственных технологических процессов.

Преимущества

Приборы серий IRIS являются недорогим, надежным и удобным инструментом при решении задач по получению высококачественных оптических покрытий. Предлагаемые системы обладают важными достоинствами и преимуществами:

Для Вашего предприятия:

• Продление срока службы имеющегося парка вакуумного напылительного оборудования, с расширением возможностей его применения.


• Существенное снижение материальных затрат и времени на отработку новых процессов и покрытий.


• Успешный опыт производства и промышленной эксплуатации систем, начиная с 2004 года.


• Быстрый ввод систем в эксплуатацию - все работы по монтажу, запуску, настройке и обучению занимают не более 1-2 дней.


• Быстрый срок производства и поставки - в большинстве случаев не более 100 дней.


• Гарантия 2 года с даты ввода в эксплуатацию. Полная сервисная поддержка, консультации, рекомендации, модернизация систем и расширение спектрального диапазона при дальнейшей эксплуатации.

Для Ваших технологов и операторов установок:

• Наблюдение за ростом покрытия в реальном масштабе времени.


• Повышенная точность и стабильность измерений за счет применения модуляции источника излучения.


• Коррекция покрытия в процессе напыления благодаря послойным наблюдениям.


• Сохранение данных о покрытии и процессе в архивных файлах для последующего анализа и повтора успешных процессов.


• Высокая воспроизводимость оптических характеристик.


• Минимум движущихся деталей в измерительных системах, высокая надежность конструкции.


• Удобный интерфейс, позволяющий получать оператору/технологу точную и необходимую информацию.

Для Ваших заказчиков:

• Возможность изготовления и получения покрытий самых сложных спектральных характеристик.


• Существенное снижение брака в покрытиях, более высокий коэффициент выхода годных процессов, высокая повторяемость процессов.

Технические характеристики систем измерения серии IRIS (на базе спектрометра EOS 45)

Описание параметраIRIS 0204IRIS 0207IRIS 0211IRIS 0407IRIS 0411IRIS 1017IRIS 0417
Спектральный диапазон, нм
190 - 380
190 - 740
190 - 1100
380 - 740
380 - 1100
950 - 1700
380 - 1700
Спектральное разрешение, нм
0,8
0,8 (190 - 380 нм)
1,6 (380 - 740 нм)
0,8 (190 - 380 нм)
1,6 (380 - 1100 нм)
1,6
3,2
1,8 (380 - 1050 нм)
3,6 (950 - 1700 нм)
Воспроизводимость длины волны, нм
0,2
0,4
0,8
0,4 (380 - 1050 нм)
0,8 (950 - 1700 нм)
Точность установки длины волны, нм
0,4
0,8
1,6
0,8 (380 - 1050 нм)
1,6 (950 - 1700 нм)
Фотометрические функции
T% / R% *
Спектрометр
EOS UV
EOS UV-VIS
EOS UV-IR
EOS VIS
EOS VIS-IR
EOS IR
EOS UV-IR / IR
Диапазон измерения: T%
0,01 - 120%
Источник света
Дейтериевая лампа
Дейтериевая лампа / Галогенная лампа
Галогенная лампа
Точность измерения
<0,01 х T **
Воспроизводимость измерения
0,005 х T **,
Стабильность базовой линии
0,01 х T/час
Уровень рассеянного света
0,01 х Tмакс
Коммуникационный порт
USB 2.0
Время измерения полного диапазона, мс
от 10 мс, рекомендуемое время измерение полного диапазона 40-80 мс
Потребляемая мощность, Вт
50
30
Питание
220 В, 50 Гц
Вес нетто, кг
10

* Измерение пропускания и отражения возможно с перестановкой осветителя или с заказом двух блоков осветителей в комплекте поставки.
**После 30 мин прогрева дейтериевой лампы и 10 мин прогрева галогенной лампы.
Прочие варианты конфигурации приборов всегда возможны по согласованию с Заказчиком.

Характеристики системы спектрального контроля IRIS

• — Страна производитель: Беларусь