Встраиваемая система спектрального (ширикополосного) оптического контроля серии IRIS, Минск

Встраиваемые системы спектрального (ширикополосного) оптического контроля серии IRIS (ИРИС) компании ЭссентОптикс являются в настоящее время самым современным решением для контроля процессов вакуумного нанесения оптических покрытий. Системы IRIS предназначены для контроля покрытий по спектрам пропускания или отражения, а также позволяют осуществлять послойную корректировку покрытия. Основу системы составляет высокоточный спектрометр EOS собственной разработки, электронная система управления, а также программное обеспечение для измерения оптических показателей и визуализации измерительного процесса на экране оператора.

Рабочие диапазоны измерений различны (200-380нм, 380-740 нм, 380-1100 нм, 200-1100 нм, 950-1700 нм, 380-1700 нм и т.д.), система контроля поставляется с выбранным диапазоном или их комбинацией в зависимости от требований. Измерительный комплекс IRIS позволяет вести достоверный спектральный контроль роста слоя по всему выбранному спектральному диапазону в процессе напыления, позволяя оператору наблюдать за изменением спектральной кривой напыляемого покрытия в каждый момент времени. Конструкция системы обеспечивает возможность измерения как на отражение, так и на пропускание. Дополнительно, в программу работы системы можно загружать расчетные оптические кривые каждого слоя из программы расчета основных и промежуточных спектров МультиСпектр. Это позволяет точно сопоставлять расчетные и фактические значения показателей на выбранных длинах волн, контролировать форму спектральной кривой и остананавливать процесс напыления по достижении требуемого значения.

Конструкция встраиваемых систем спектрального оптического контроля серии IRIS не требует доработок в вакуумной установке, в комплект поставки входят все необходимые переходные фланцы, оптоволоконные кабели и крепежные элементы, которые разрабатываются для большинства эксплуатируемых установок (ВУ, УВН, Leybold, Balzers и т.д.), а также для новых установок.