Оборудование вакуумное Versus 74, Минск

Отличительные особенности:

- одностороннее либо двухстороннее напыление

- ионный источник очистки

Технические характеристики

Размеры обрабатываемых подложек
48х60х1,0; 48х60х0,5; 48х60х0,25; 30х24х0,3; 30х24х0,2 мм
Материалы подложек
поликор, ситалл и пр.
Количество одновременно обрабатываемых подложек 48х60
не менее 40 шт.
Способ нанесения покрытия
нанесение покрытий методом термического испарения, опционально возможна установка магнетронного распыления
Технологические устройства
Резистивный испаритель, мощность 2кВт - 1 шт;

Электронный испаритель с кольцевым катодом, мощность 2,5кВт - 2шт;

Источник ионной очистки.

Температура нагрева подложек
до 300^оС.

Разброс температур по карусели - не более ± 5оС.

Точность установки температуры - не более ± 5оС.

Разброс толщины запыленной пленки по карусели
не более ±5%.
Контроль толщины напыленной пленки
по кварцевому датчику

Резистивный образец - «свидетель» изготавливается на ситалловой подложке, размеры 30,0 х 3 мм, между сформированными контактными площадками окно для запыления длиной 6 мм (2 квадрата

Скорость вращения карусели
регулируемая в диапазоне 0 ÷ 30 об/мин
Система откачки
высоковакуумный турбомолекулярный насос;

низковакуумный спиральный насос.

Предельное остаточное давление
8х10-5Па.
Время откачки до давления 2·10^-4 Па
не более 30 минут
Охлаждение
от установленного рециркулятора, для охлаждения технологических устройств

Характеристики оборудования вакуумного Versus 74

• — Страна производитель: Беларусь
• — Бренд: Изовак