Установки зондовые ЭМ-6520, ЭМ-6520-1, Минск

Установки зондовые ЭМ-6520, ЭМ-6520-1 предназначены для контактирования кристаллов
ИС и СБИС на пластине диаметром до 200мм в диапазоне нормальных и повышенных температур и стыковки с измерительными комплексами контроля многовыводных СБИС.

Установки обеспечивают:

-
электрический контакт цепей измерителя с контактными площадками кристаллов ИС
на пластине;

-
обход кристаллов на пластине по традиционной схеме «змейкой подряд», а также по
программируемым относительно базового кристалла точкам;

-
картографирование результатов контроля пластины по группам годности;

-
вывод результатов контроля пластин на дисплей;

- вывод результатов контроля пластин на периферийное
устройство;

- маркирование кристаллов краской.

Маркирование
кристаллов производится как в позиции зондов, так и в позиции, смещенной
относительно позиции зондов на расстояние до 50мм.

Загрузка-выгрузка
пластины и ее ориентация осуществляется вручную.

Электронные
устройства и программное обеспечение обеспечивают переобучение на другое
изделие непосредственно на установке с сохранением параметров в памяти
установки для работы в условиях многономенклатурного производства.

ТЕХНИЧЕСКИЕ
ХАРАКТЕРИСТИКИ:
Максимальный диаметр обрабатываемых пластин
200 мм
Максимальный размер кристалла
20х20 мм
Погрешность контактирования кристалла на пластине
±10 мкм
Нагрев рабочего столика/планшайбы (ЭМ-6520)
до 150° С
Вакуум
0.04-0.03 МПа
Электропитание и потребляемая мощность
230 В, 50 Гц, 0.8 КВт
Габаритные размеры, не более
800х700х1600мм
Масса, не более
300 кг

Характеристики установок зондовых ЭМ-6520, ЭМ-6520-1

• — Страна производитель: Беларусь