Установка разделения сверхтонких пластин ЭМ-2085B, Минск
Описание товара
Установка разделения сверхтонких пластин
ЭМ-2085В предназначена для разделения пластин (диаметром до 200 мм) из кремния,
германия, материалов группы А3В5, ферритов, а также стеклянных, ситалловых,
поликоровых, сапфировых и других подложек в спутниках рамочного типа с наружным
диаметром 294 мм и толщиной 1,6мм.
Особенностями установки является
использование высокопрецизионных линейных шариковых направляющих,
обеспечивающих высокие точности перемещения и легкость ремонта. Установка
снабжена датчиками обратной связи на приводах X, Y и Z, бесконтактной системой
для контроля глубины реза и износа лезвия, расширенной памятью процессора и закрытой
зоной обработки. Управление приводами выполнено на современной элементной базе,
обеспечивающей большую надежность, компактность, гибкость и долговечность.
Установка осуществляет диагностику
систем управления приводами с выдачей оперативной информации на
жидкокристаллический монитор.
При отсутствии заводской вакуумной магистрали,
возможно использование вакуумного насоса, входящего в состав установки.
В полуавтомате предусмотрена возможность
многоступенчатого разделения для разделения сверхтвердых и «толстых»
материалов.
Диаметр обрабатываемых полупроводниковых пластин, мм
100, 125, 150 и 200
Мощность электрошпинделя, кВт
1,2
Частота вращения вала электрошпинделя, мин-1
от 14000 до 60000
Максимальное перемещение электрошпинделя по координате Y, мм
250
Максимальное перемещение стола предметного по координате X, мм
300
Максимальное перемещение по координате Z, мм
24
Диапазон регулирования рабочей подачи стола предметного по координате X, мм/с
от 0,1 до 600
с дискретностью 0,1
Диапазон регулирования шаговых перемещений электрошпинделя по координате Y, мм
от 0,01 до 250 с дискретностью 0,001
Накопленная погрешность шаговых перемещений электрошпинделя по координате Y на длине 210 мм, мм
0,004
Воспроизводимость перемещения электрошпинделя по координате Z на длине 8мм, мм
0,005
Объемный расход сжатого воздуха (при давлении 0,5МПа), м3/ч
12
Давление сжатого воздуха, МПа
0,5-0,6
Вакуум
от 0,04 до 0,03 МПа*
Габаритные размеры (д×ш×в), мм
970×950×1400
Характеристики установки разделения сверхтонких пластин ЭМ-2085B
- — Страна производитель: Беларусь
Товары, похожие на Установка разделения сверхтонких пластин ЭМ-2085B
Заявленная компанией ПЛАНАР-СО, ОАО цена товара «Установка разделения сверхтонких пластин ЭМ-2085B» может не быть окончательной ценой продажи. Для получения подробной информации о наличии и стоимости указанных товаров и услуг, пожалуйста, свяжитесь с представителями компании ПЛАНАР-СО, ОАО по указанным телефону или адресу электронной почты.