Установка механического утонения пластин ЭМ-2060, Минск

Установка механического
утонения пластин ЭМ-2060 предназначена для глубокого двухстадийного утонения
пластин, защищённых с обратной стороны адгезионной плёнкой, с последующей
отмывкой и сушкой обработанных пластин.

Установка
позволяет обрабатывать кремниевые пластины диаметром до 200 мм,пластины из материалов группы А3В5,
сапфировые подложки, при этом обеспечивая получение минимальной остаточной толщины утоняемых пластин. Конструкция
установки обеспечивает надежную защищенность от внешних и внутренних источников
вибрации, стабильные геометрические параметры в процессе шлифовки в течение
длительного срока эксплуатации.

Система
управления установки позволяет оператору просто и быстро перепрограммировать
технологические режимы обработки в зависимости от требуемых параметров: остаточной
толщины пластины, шероховатости, а также изменять технологические параметры:
частоту вращения шпинделя, скорость рабочей подачи, глубину снимаемого слоя, количество
проходов, частоту вращения планшайбы предметного стола.

Установка
предназначена для работы в автоматическом режиме, при этом загрузка и выгрузка
обрабатываемых и обработанных пластин выполняется манипулятором автоматически.

Установка обеспечивает контроль функционирования и диагностику
неисправностей основных своих систем. Все системы в блоке управления могут быть
протестированы, что позволяет определить неисправный элемент, а модульная
конструкция построения блоков управления позволяет быстро устранить
неисправность путем замены вышедшего из строя модуля.

Особенности
установки:

- подача охлаждающей жидкости осуществляется непосредственно
через вал электрошпинделя, что позволило уменьшить влияние тепловых изменений
размеров на остаточную толщину обработанных пластин,

- переработана система крепления инструмента, что
позволило снизить его торцовое биение и привело к значительному уменьшению глубины
нарушенного слоя,

- установка позволяет осуществлять как
поступательное шлифование, так и шлифование с вращением пластины.

Сравнение поступательного шлифования и шлифования с вращением пластины:

Параметр
Поступательное

шлифование

Шлифование с вращением
Шероховатость Ra
(+) равномерная
(-) изменяется от центра к периферии пластины
Профиль пластины
(+) прямой
(-) выпуклый/вогнутый
Прогиб
(-) большой
(+) малый
Вероятность поломки пластины при автоматической загрузке-выгрузке
(-) большая
(+) малая
Повреждение кромки пластины при быстрой подаче
(-) возможно ударное воздействие инструмента на кромку пластины
(+) нет (инструмент не сходит с поверхности пластины)

ТЕХНИЧЕСКИЕ
ХАРАКТЕРИСТИКИ УСТАНОВКИ ЭМ-2060:

Диаметр обрабатываемых пластин, мм
100, 150, 200
Количество электрошпинделей, шт
2
Номинальная мощность электрошпинделя, кВт
4.2
Частота вращения вала электрошпинделя, об/мин
1000-5000
Частота вращения стола, об/мин
150
Разнотолщинность обработанной пластины, мкм
3 для Æ100

4 для Æ150

5 для Æ200

Разнотолщинность от пластины к пластине, мкм
±3 для Æ100

±

4 для Æ150

±

5 для Æ200
Остаточная толщина пластины Æ200 мм, мкм
170
Производительность при снятии 100 мкм без учёта времени на загрузку-выгрузку, пластин/ч
60 для Æ100

45 для Æ150

15 для Æ200

Шероховатость обработанной поверхности, Ra, мкм
0.08-0.2

(в зависимости от инструмента)

Автоматическая система загрузки-выгрузки
есть
Габаритные размеры установки, мм:
- длина
2500
- ширина
1250
- высота
1500