Установка прецизионной шлифовки подложек ЭМ-2070, Минск

Установка прецизионной шлифовки подложек ЭМ-2070
предназначена для шлифования пластин, защищённых с обратной стороны адгезионной
плёнкой.

Загрузка/выгрузка пластин осуществляется вручную с
помощью захвата Бернулли.

Шлифование
осуществляется специальным алмазным инструментом с последующей отмывкой и
сушкой обработанной поверхности.

Особенности установки:

- подача
охлаждающей жидкости осуществляется непосредственно через вал электрошпинделя,
что позволило уменьшить влияние тепловых изменений размеров на остаточную
толщину обработанных пластин,

- переработана
система крепления инструмента, что позволило снизить его торцовое биение и
привело к значительному уменьшению глубины нарушенного слоя,

- на установке реализована
технология высокопроизводительного утонения с вращением пластины. Для
полноценной реализации технологии установка имеет высокооборотный стол на
аэростатических опорах.

ТЕХНИЧЕСКИЕ
ХАРАКТЕРИСТИКИ УСТАНОВКИ ЭМ-2070:

Диаметр обрабатываемых пластин, мм
100, 150, 200

(300 опционально)

Количество электрошпинделей, шт
1
Номинальная мощность электрошпинделя, кВт
4.5
Частота вращения вала электрошпинделя, об/мин
1000-4500
Частота вращения стола, об/мин
300
Разнотолщинность обработанной пластины, мкм
5 для Æ200
Разнотолщинность от пластины к пластине, мкм
±5 для Æ200
Остаточная толщина пластины Æ200 мм, мкм
240
Производительность при снятии 100 мкм без учёта времени на загрузку-выгрузку, пластин/ч
30 для Æ200
Шероховатость обработанной поверхности, Ra, мкм
0.08-0.2

(в зависимости от инструмента)

Автоматическая система загрузки-выгрузки
нет
Габаритные размеры установки, мм:
длина
1500
ширина
1000
высота
1750